大氣等離子清洗機(jī)在運(yùn)行過程中所有的功能部件都可以控制,在清洗模式下,射頻功率、清洗時間等都可以通過觸摸屏設(shè)定,如果需要充入氣體可選擇兩個氣路并分別設(shè)置充氣流量。清洗過程中運(yùn)行參數(shù)包括真空度、射頻輸出功率、清洗時間等都在觸摸屏上顯示。
如果你發(fā)現(xiàn)在使用大氣清洗機(jī)清洗效果不好,可以從上述幾個主要運(yùn)行參數(shù)上做出適當(dāng)調(diào)整。下面,琦凡精密帶大家一起來了解下幾個影響等離子清洗效果的主要因素,讓你對影響大氣等離子清洗機(jī)清洗效果的原因有一個更加清晰的認(rèn)知。
一、功率
等離子體的密度和能量與射頻功率成正比關(guān)系,所以在清洗時應(yīng)該增大清洗功率從而提高清洗的程度以及清洗的效率,但當(dāng)功率過大,離子溫度會上升,在高溫條件下金屬基片或其他易被氧化的物質(zhì)會被氧化從而被破壞,另外不耐高溫零件例如塑料等也會損壞,因此在清洗之前可以借助模擬合理選擇需要的功率,既要滿足經(jīng)濟(jì)性要求又要保證清洗效果以及清洗的效率。
二、時間
通常在保證清洗效果的同時需要的時間越少越好以提高清洗的效率,但所用時間是與各個參數(shù)之間相互關(guān)聯(lián)的。一般來說,功率越大,所需要清洗的時間就會越短,但相應(yīng)的功耗也會越大,功率的增大會使反應(yīng)腔體與零件的溫度升高。
同時也會造成其他的多種問題,例如零件被破壞、發(fā)生刻蝕等。因此需要不斷摸索清洗時間、功率、壓力以及氣體種類和配比的關(guān)系選擇一個清洗工藝。
三、溫度
在等離子清洗中,工件溫度會在離子的轟擊作用下變高,所以工件的溫度會受到射頻功率和清洗時間的影響。根據(jù)國內(nèi)外研究表明射頻頻率與溫度成反比;與射頻功率成正比;時間越長溫度越高。
四、壓強(qiáng)
真空腔體內(nèi)的壓強(qiáng)在設(shè)備運(yùn)行的過程中主要受漏氣率,充氣及抽氣速度影響。針對不同的材料以及需要去除的污染物不同,所需壓強(qiáng)也是不同的。當(dāng)充入氬氣、氮?dú)獾确欠磻?yīng)性稀有氣體時,此時的清洗主要靠離子的物理轟擊作用,此時可以通過增大抽速或者減小充氣速度,來保證真空室在較低的壓力,壓強(qiáng)低可以保證離子具有較高的能量轟擊到基片表面以增強(qiáng)清洗效果。
五、均勻性
離子均勻性主要受到氣體流動和腔體壓力的影響。反應(yīng)氣體的流動性會直接影響到均勻性,在大氣等離子清洗機(jī)主要考量均勻性的設(shè)計(jì)是在充抽氣方面,氣體從真空室前端充入,在真空室中部發(fā)生反應(yīng),在尾部排出廢氣;壓力也直接影響均勻性,分子的平均自由程隨著壓力的降低而變長,離子所獲得的能量越大且均勻,因此清洗效果越好。